“工欲善其事，必先利其器。”半導體產(chǎn)業(yè)亦如此：沒有能加工出人頭發(fā)絲幾千分之一到上萬分之一尺度的半導體設備，就無法造出芯片。

    “信息產(chǎn)業(yè)的基礎是集成電路和各種微觀器件（包括芯片等）。隨著微觀器件越來越小，研發(fā)和制造高端微觀加工設備，在人頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬分之一的尺度上，加工復雜的微觀器件，成為最重要的、最關鍵的、最卡脖子的核心產(chǎn)業(yè)。中微公司以自主創(chuàng)新和獨立知識產(chǎn)權(quán)開發(fā)的等離子體刻蝕機已在國內(nèi)外眾多客戶生產(chǎn)線廣泛應用，并核準加工14納米、7納米和5納米的最先進器件。同時，公司自主研發(fā)的制造氮化鎵基LED外延片的MOCVD關鍵設備，在眾多的LED生產(chǎn)線上已成為市場首選設備。相關產(chǎn)品均面臨了市場機會和繼續(xù)快速增長的空間。”中微公司董事長及總經(jīng)理尹志堯在此前路演時介紹說。

    7月22日，科創(chuàng)板鳴鑼開市，中微公司本次定價及未來表現(xiàn)是近期熱議話題，安信證券研究中心總經(jīng)理助理諸海濱接受證券時報記者采訪時認為，中微公司是我國半導體設備企業(yè)中，極少數(shù)能與全球頂尖設備公司直接競爭并不斷擴大市場占有率的公司，是業(yè)界公認的后起之秀。有稀缺性加上高成長的預期，所以市場給出百億級別估值；未來主要關注業(yè)績能否保持高增長勢頭從而對公司估值形成有力支撐。

    方寸間近乎極限的操作

    無論是上個世紀90年代的“909工程”，還是2000年之后上海張江的集成電路產(chǎn)業(yè)爆發(fā)，每一代芯片人都身負理想、躊躇滿志，由尹志堯領銜的中微公司創(chuàng)始團隊亦如是。

    時間回撥至2004年，在美國半導體領域已闖蕩20年的尹志堯帶領了一支全球化團隊回國創(chuàng)業(yè)；尹志堯本人在上世紀80年代曾前往加州大學洛杉磯分校留學，并獲得物理化學博士學位；1984年至2004年，他先后在英特爾、泛林半導體和應用材料擔任要職；目前，尹志堯是89項美國專利和200多項其他海內(nèi)外專利的主要發(fā)明人。中微公司的其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員中還包括杜志游、倪圖強、麥仕義等在國際半導體設備產(chǎn)業(yè)耕耘數(shù)十年的頂尖專家。

    在集成電路產(chǎn)業(yè)中，先進集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達100億美元，75%以上是半導體設備投資，而光刻機、等離子體刻蝕設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要、最大宗的三類設備，該市場一直主要由國外廠商主導，行業(yè)高度壟斷，技術(shù)壁壘明顯。成立伊始，中微公司就將目光瞄準了等離子體刻蝕設備領域。

    何謂刻蝕？是用化學或物理方法有選擇地在硅片及外延材料表面去除不需要的材料的過程，這些化學物理反應在硅片上開槽打洞，形成令人嘆為觀止的微觀結(jié)構(gòu)。“一塊指甲蓋大小的芯片可集成幾十億個晶體管。這種微觀器件領域方寸間近乎極限的操作，對刻蝕機的控制精度提出極高要求。”上海本地半導體制造業(yè)內(nèi)人士向證券時報記者談道。

    2007年，中微公司首臺CCP刻蝕設備產(chǎn)品PrimoD-RIE研制成功，由此邁開追趕國際先進水平的步伐。轉(zhuǎn)眼2015年，美國商務部宣布解除對我國等離子體刻蝕設備多年的出口管制，原因就在于中微公司已開發(fā)出了與美國設備公司具有同等質(zhì)量和相當數(shù)量的等離子體刻蝕設備并實現(xiàn)了量產(chǎn)。

    多次知識產(chǎn)權(quán)訴訟

    從未失敗

    中微公司在薄膜沉積設備亦開始發(fā)力。2010年，中微公司開始研發(fā)用于LED器件加工中最關鍵的設備——MOCVD；2017年，公司設備逐步打破了維易科和愛思強兩家國際知名企業(yè)的壟斷。

    崛起之路并非坦途，更何況競爭對手均為老牌國際巨頭。截至2018年末，中微公司曾涉及四起海內(nèi)外知識產(chǎn)權(quán)訴訟案件，涵蓋兩件專利案件和兩件商業(yè)機密案件，最終公司未嘗敗績，在訴訟中均達成和解或勝訴。這一結(jié)果與中微公司歷來在研發(fā)保持高投入密不可分。2016年-2018年公司累計研發(fā)投入10.37億元，約占營業(yè)收入的32%。

    如今，中微公司經(jīng)過15年的發(fā)展，公司等離子體刻蝕設備已在國際一線客戶（主要為晶圓廠）從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進封裝中有具體應用。同時，公司的MOCVD設備在行業(yè)領先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)，已成為世界排名前列、國內(nèi)占領先地位的氮化鎵基LEDMOCVD設備制造商。

    技術(shù)的突破和產(chǎn)品量產(chǎn)化正轉(zhuǎn)化為效益。中微公司2016年至2018年營業(yè)收入分別為6.1億元、9.72億元、16.39億元；歸母凈利潤分別為-2.39億元、2991.87萬元、9086.92萬元。同時，公司預計2019年1~6月實現(xiàn)營業(yè)收入7.2~8.6億元，同比增長55%~85%；預計實現(xiàn)扣非后歸母凈利潤為2200~2600萬元，較去年同期的-4801.28萬元由負轉(zhuǎn)正。

    談及刻蝕設備增長潛力，諸海濱認為，中微公司的刻蝕設備雖然在銷售規(guī)模上離巨頭們有一定差距，但其部分技術(shù)水平和應用領域已達到國際同類產(chǎn)品的標準，產(chǎn)品也正獲得更多下游客戶認可。2019年上半年預告扭虧轉(zhuǎn)盈就是一個好信號，未來市場份額有望進一步提升。

    未來十年力爭成為

    國際一流半導體設備公司

    苦練內(nèi)功之際，中微公司也正計劃借助資本市場取得更快速發(fā)展。從3月29日科創(chuàng)板上市申請獲受理，到7月1日注冊生效，中微公司歷時僅93天，并成為25家科創(chuàng)板首批上市公司之一。

    對于國內(nèi)硬核科技企業(yè)的代表，資本市場給出了高估值：發(fā)行價29.01元/股，對應PE為170.75倍，對應PS為9.47倍。

    對于上述定價結(jié)果，不乏估值是否過高的爭議。多位受訪機構(gòu)人士對證券時報記者給出了解讀。諸海濱認為，中微公司正處于高研發(fā)、高成長階段，刻蝕設備、MOCVD后續(xù)均需大量研發(fā)投入以突破更先進技術(shù)節(jié)點等，因此銷售收入增長速度相對而言能更好反映公司價值，所以PS比PE更適合對公司進行估值。而本次發(fā)行價對應的2019年動態(tài)PS和PE水平與A股可比公司估值基本相當。

    在一位曾參與詢價的上海本地機構(gòu)人士看來，中微公司高估值主要基于兩點，一是稀缺性，二是高成長預期，按多家機構(gòu)預測，2019年公司扣非前凈利潤增速仍將在100%以上。“公司研發(fā)實力突出，市場預期也很高，但并非沒有風險，未來公司能否保持長期的市場競爭力，下游晶圓廠和LED芯片制造商擴產(chǎn)是否符合預期等情況都需要進一步跟蹤。”該機構(gòu)人士同時指出。

    在獲得資本市場百億級估值后，未來目標在何處？中微公司認為，公司將圍繞自身核心競爭力，通過自主創(chuàng)新、有機生長，結(jié)合適當?shù)募娌⑹召彶呗裕粩嗤苿悠髽I(yè)健康發(fā)展，力爭在未來十年內(nèi)發(fā)展成為國際一流的半導體設備公司。