本報訊 （記者孫文青）10月23日，上海市召開全市科技大會暨科學技術獎勵大會，并公布2023年度上海市科學技術獎。萬業企業旗下上海凱世通半導體股份有限公司（簡稱“凱世通”）榮獲上海市科技進步獎一等獎，獲獎項目名為“離子注入機技術與應用產業化”。凱世通副總經理、首席技術官夏世偉作為項目第一完成人出席大會并登臺領獎。

    凱世通此次獲獎項目所研發的低能大束流離子注入機系列設備是制造邏輯芯片、DRAM存儲芯片、功率器件、CIS芯片的核心設備，設備性能與穩定性表現卓越，實現了集成電路重大裝備產業化突破。

    夏世偉表示，此次獲獎是凱世通研發團隊辛苦付出、持續拼搏的結果，凱世通堅持正向設計、創新突破，緊密結合世界前沿科技與產業需求，持續創新推動離子注入機原創性、引領性科技攻關，不斷強化技術優勢，持續為客戶提供性能卓越、穩定可靠、降本增效的先進設備和工藝解決方案，努力服務國家集成電路產業高質量發展。

    目前，凱世通已打造出多款離子注入機標桿項目，在國內主流12英寸晶圓廠實現了產業化并收獲了批量重復訂單。隨著產業化進程加快，凱世通將持續提升產能，增強服務客戶能力。

（編輯 李波）