本報(bào)記者 施露

    7月14日晚間，萬(wàn)業(yè)企業(yè)披露2022年半年度業(yè)績(jī)預(yù)告，2022年1-6月，公司及控股子公司累計(jì)新增集成電路設(shè)備訂單超7.5億元，集成電路專用設(shè)備制造業(yè)務(wù)收入較上年同期增加約150%，主要受益于中國(guó)本土集成電路晶圓廠加速擴(kuò)產(chǎn)，旗下低能大束流離子及高能注入機(jī)順利完成客戶交付，多家客戶新簽設(shè)備采購(gòu)訂單等因素影響。

    現(xiàn)階段，萬(wàn)業(yè)企業(yè)正向集成電路前道設(shè)備領(lǐng)域加速部署。公司控股子公司凱世通在2022年度第一季度獲得重要客戶多臺(tái)12英寸集成電路設(shè)備的批量訂單，包含低能大束流離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)。今年4月下旬，凱世通進(jìn)入上海市經(jīng)信委首批復(fù)工復(fù)產(chǎn)白名單，向客戶順利交付了批量訂單中的首批多套大束流離子注入機(jī)，后續(xù)將按期交付節(jié)奏穩(wěn)定出貨。2021年至今，凱世通研發(fā)的4種不同型號(hào)的離子注入機(jī)設(shè)備已相繼在客戶端成功取得驗(yàn)證及驗(yàn)收，包括低能大束流離子注入機(jī)、低能大束流重金屬離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)以及高能離子注入機(jī)。當(dāng)前，公司與核心部件供應(yīng)商已建立良好的合作關(guān)系，擁有穩(wěn)定的供應(yīng)商體系，在國(guó)內(nèi)離子注入行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)擁有領(lǐng)先地位。

    從經(jīng)營(yíng)狀況看，公司正處于產(chǎn)能爬坡階段，公司另一控股子公司嘉芯半導(dǎo)體主要將覆蓋刻蝕機(jī)、快速熱處理/褪火、薄膜沉積、單片清洗機(jī)、槽式清洗機(jī)、尾氣處理、機(jī)械手臂等領(lǐng)域，布局12寸及8寸等主流設(shè)備市場(chǎng)。目前嘉芯半導(dǎo)體的109畝研發(fā)制造基地正在建造中，屆時(shí)產(chǎn)能釋放后，持續(xù)推動(dòng)公司“1+N”集成電路設(shè)備平臺(tái)的高質(zhì)量發(fā)展。

    據(jù)了解，目前本土晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，帶動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求持續(xù)旺盛，行業(yè)處于上升通道。未來(lái)，萬(wàn)業(yè)企業(yè)將通過(guò)積極拓展市場(chǎng)開(kāi)發(fā)客戶，推進(jìn)設(shè)備在多種工藝及制程節(jié)點(diǎn)的應(yīng)用，驅(qū)動(dòng)集成電路業(yè)務(wù)迎來(lái)高速發(fā)展。

（編輯 李波）