新華社昨日發布消息稱，中國電子科技集團旗下裝備子集團（下稱“電科裝備”）攻克系列“卡脖子”技術——離子注入機實現全譜系產品國產化，可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。在國產替代浪潮下，這一消息無疑讓國人振奮。

    業界普遍認為，在集成電路領域，中國與國際先進水平相比差距巨大，其中又以產業基礎的裝備和材料方面差距最大。如果說，芯片的自主研發，是一場長期而持久的“硬仗”，那每一個制造設備，都是一座亟待攻克的“城池”。

    “集成電路裝備是我國科技自立自強的薄弱環節，我們正在全力推進解決‘卡脖子’問題。”電科裝備董事長左雷接受上海證券報記者專訪時反復提到使命和責任，“電科裝備是我國集成電路制造裝備領域的戰略科技力量，要在確保產業鏈供應鏈安全方面有更大作為。”

    自主研制加速國產替代步伐

    如今國內泛起“造芯”熱，很多企業跨界做半導體，但電科裝備卻是正宗的“科班”出身。“我們專注于半導體裝備已有60余年。”左雷介紹，在60余年的技術積淀中，電科裝備秉承“發展國產裝備，鑄就國芯基石”的使命責任，一茬接著一茬干，連續攻克了數百項關鍵核心技術，推動離子注入機、CMP設備、300mm超薄晶圓減薄拋光一體機等集成電路高端裝備從無到有，填補了產業鏈空白，科技實力從量的積累邁向質的飛越，從點的突破邁向系統能力提升。

    近年來，面對終端需求的快速更替和技術的快速迭代，電科裝備瞄準了產業鏈短板，加快集成電路制造裝備自主創新步伐。

    日前，電科裝備實現了中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等全譜系離子注入機自主創新發展，工藝段覆蓋至28nm。與此同時，電科裝備研制的具有完全自主知識產權的300mmCMP設備也進入客戶端驗證，與已邁入產業化階段的200mmCMP設備形成合圍之勢，加速國產化進程。

    “突破掣肘，還要成體系構建自主可控能力。”左雷強調，圍繞關鍵核心技術突破，電科裝備頂層布局，集中資源，和地方政府聯合建設了中國電科（北京）集成電路核心裝備自主化與產業化產業園、中國電科（山西）電子信息技術創新產業園和長沙國內首個8英寸集成電路成套裝備國產化制造工程，開展基礎前沿技術研究、共性技術研究和應用技術研究，打造“裝備+工藝+服務”模式，實現工藝與設備的迭代發展，大幅提升集成電路高端裝備、第三代半導體關鍵裝備等國產化率。

    技術向縱深走，業務往橫向拓。依托多年在集成電路核心裝備領域的技術積累，電科裝備自主研制的封裝組裝、新能源、新型顯示高端裝備不斷占領價值鏈高端，龍頭產品國內市占率持續位于行業第一，并形成系統集成服務能力，累計為國內外客戶提供1萬多臺套電子制造設備，與客戶共贏發展。

    混改成為極速突圍的必由之路

    中國是制造業大國，但每年仍需進口3000億美元的半導體芯片。這種狀況的背后，是我國仍依賴境外先進半導體制造設備。

    “補齊我國集成電路核心裝備的短板，創新突破受制于人的技術領域，刻不容緩。”左雷指出產業鏈的“命門”所在。

    在國產化的機遇背景下，電科裝備迅速補短修長，開展了多項核心裝備的自主研發。“集成電路裝備是資金密集型、技術密集型、人才密集型產業，我們目前布局的攻關任務，都是產業鏈上‘卡脖子’裝備，重要程度、艱難程度如同當年制造原子彈一樣。要實現突圍，必須換擋提速。”左雷表示。

    在國企改革三年行動計劃和國資委“雙百行動”的支持下，混改成為極速突圍的必由之路。電科裝備聚焦集成電路裝備板塊，確定了混改路徑，通過引資、引智、建機制，借助上市平臺支撐研發及產業化運作，實施科技創新和資本運作雙輪驅動，突破關鍵核心技術和產業化瓶頸。

    “通過混改，電科裝備將以新的技術產品布局、新的組織人才結構、新的體制機制，融入集成電路產業生態圈，強化與產業重點區域的融合發展，整體規模邁入百億級別，推動國際影響力和競爭力穩步提升，奮力打造成為‘中國應用材料’。”展望未來，左雷信心十足。